開発中のWLP技術 RDLへの無電解金めっき技術 *金メッキの使用例 RDLの開口部を無電解金メッキで覆い、端子成形をWBまたは、はんだボールのいずれかに選択可能 これにより、メッキ後に保管されたウェーハから2種類のパッケージに対応可能 大電流対応 WLP 大電流対応 WLPの開発中 Power系、MOS FET 他